国立大学法人東北大学
革新的な走査ミラー製造方法！
国立大学法人東北大学
革新的な走査ミラー製造方法！
本発明は、シリコン製の走査ミラーとその製造方法に関するもので、走査ミラーはトーションバーとミラー部を備えています。このトーションバーに沿った軸を中心として前記ミラー部を回動可能にします。ミラー部とトーションバーはシリコン製で、これらを形成した後、少なくとも前記トーションバーの表面に、原子層堆積法によりALD層を形成します。さらに、静電アクチュエータを有し、電極間に電圧を加えることでトーションバーに力を与え、ミラー部を回動させます。静電アクチュエータの各電極の表面にも、原子層堆積法によりALD層を形成します。これにより、高性能で耐久性のある走査ミラーを製造することが可能です。
つまりは、シリコン製のトーションバーを用いた、静電アクチュエータを含む高性能走査ミラーの製造方法
AIによる特許活用案
おすすめ業界 電子機器製造業光学機器製造業医療機器製造業
- ハイスピードスキャナの開発
- 小型光学機器の製造
- 医療機器の開発
本特許は、高速スキャニングが要求される分野におけるハイスピードスキャナの開発に活用できます。静電アクチュエータを用いた本発明の走査ミラー製造方法は、高速かつ正確なスキャニングを可能にします。
本特許は、小型化が求められる光学機器の製造に活用できます。シリコン製トーションバーと原子層堆積法によるALD層の形成は、耐久性と性能を兼ね備えた小型の走査ミラーの製造を可能にします。
本特許は、高速かつ精密なスキャニングが求められる医療機器の開発にも活用できます。例えば、光コヒーレンストモグラフィ(OCT)のような画像診断装置におけるスキャナとして使用することで、高解像度の画像取得を実現します。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2020-545752 |
| 発明の名称 | 走査ミラーおよび走査ミラーの製造方法 |
| 出願人/権利者 | 国立大学法人東北大学 |
| 公開番号 | WO2020/241153 |
| 登録番号 | 特許第0006795165号 |
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
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