住友大阪セメント株式会社
高純度で小粒径な六ホウ化ランタン微粒子製造技術
住友大阪セメント株式会社
高純度で小粒径な六ホウ化ランタン微粒子製造技術
本特許は六ホウ化ランタン（LaB6）微粒子の製造方法について詳述しています。高純度で粒径が小さいLaB6微粒子は、スパッタリングターゲットとして使用され、有機半導体デバイスの製造に利用されます。本発明のLaB6微粒子は、炭素元素含有量が0.1質量%以上1質量%以下、酸素元素含有量が1質量%以下であり、平均粒径が50nm以上160nm以下です。これらの微粒子は、高純度かつ粒径が小さいため、スパッタリングにおけるターゲット材料として優れた性能を発揮します。さらに、六ホウ化ランタン焼結体や太ホウ化ランタン膜、有機半導体デバイスの製造にも利用可能です。
つまりは、高純度で粒径が小さい六ホウ化ランタン微粒子の製造方法とその利用についての特許です。
AIによる特許活用案
おすすめ業界 半導体製造業電子材料製造業有機半導体業界
- 高純度なスパッタリングターゲットの提供
- 高性能な有機半導体デバイスの製造
- 高純度な太ホウ化ランタン膜の製造
本製造方法を用いて作られた高純度で小粒径の六ホウ化ランタン微粒子は、スパッタリングターゲットとして用いられ、高品質な半導体デバイスの製造に寄与します。
これらの六ホウ化ランタン微粒子を用いて、高性能かつ高純度の有機半導体デバイスを製造することが可能です。これにより、デバイスの性能を一層向上させることが期待されます。
本特許の製造方法は、高純度の太ホウ化ランタン膜の製造にも応用可能です。これにより、高品質な電子材料の製造が可能となり、電子材料産業における新たな市場の開拓が期待されます。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2012-076974 |
| 発明の名称 | 六ホウ化ランタン微粒子の製造方法、六ホウ化ランタン微粒子、六ホウ化ランタン焼結体、六ホウ化ランタン膜及び有機半導体デバイス |
| 出願人/権利者 | 住友大阪セメント株式会社 |
| 公開番号 | 特開2012-214374 |
| 登録番号 | 特許第0005910242号 |
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
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