島根県、日本重化学工業株式会社、竹内電機株式会社、吉田 豊信
革新的な導電性セラミック焼結体の製造技術
島根県、日本重化学工業株式会社、竹内電機株式会社、吉田 豊信
革新的な導電性セラミック焼結体の製造技術
本特許は、セラミック焼結体に導電性や誘電性、熱伝導性などの機能性を付与する技術について説明しています。半導体製造技術の進歩に伴い、配線パターンの微細化技術が必要とされています。この技術は、これらの要求に対応するために開発されました。特に、反応性イオンエッチング技術との組み合わせにより、微細パターンの形成が可能となります。また、耐プラズマ性に優れたセラミック材料を使用することで、真空容器構成部材へのダメージを防止します。さらに、導電性を持つセラミック焼結体の製造方法も提供し、これにより、一般的な導電性付与物質を多量に含む場合に見られる耐プラズマ性の劣化といった問題を解決します。
つまりは、セラミック焼結体に導電性、誘電性、熱伝導性などの機能性を付与する新たな技術
AIによる特許活用案
おすすめ業界 半導体製造業電子部品製造業材料開発業
- 高性能半導体の製造
- 次世代電子デバイスの開発
- 安全な製造環境の実現
この技術を活用することで、耐プラズマ性と導電性を兼ね備えた高性能な半導体を製造することが可能です。これにより、半導体の性能向上や製造コストの削減が期待できます。
この技術は、次世代の電子デバイスの開発にも活用することができます。導電性と耐プラズマ性を持つセラミック焼結体を使用することで、より小型で高性能なデバイスの開発が可能となります。
本特許の技術を用いることで、危険物に指定されている金属粉末の使用を避けることが可能となります。これにより、製造現場の安全性を向上させることができます。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2012-005841 |
| 発明の名称 | セラミック焼結体の製造方法および機能性セラミック焼結体 |
| 出願人/権利者 | 島根県、日本重化学工業株式会社、竹内電機株式会社、吉田 豊信 |
| 公開番号 | 特開2013-144622 |
| 登録番号 | 特許第0006047779号 |
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