国立大学法人広島大学、マツダ株式会社
先進的な薄膜試料の比表面積測定装置
国立大学法人広島大学、マツダ株式会社
先進的な薄膜試料の比表面積測定装置
この装置は、特定の元素を含む薄膜試料の比表面積を測定します。X線を上記膜に照射し、放出された電子と蛍光X線を検出します。これにより、特定元素の表面積に比例する電子収量と特定元素の量に比例する蛍光X線収量が得られます。これらのデータに基づき、薄膜における特定元素に係る比表面積を算出します。そのため、この装置は精密な表面積の測定を可能にします。また、装置はX線の吸収係数に関するスペクトルを得ることで、さらに詳細な分析が可能です。
つまりは、特定の元素を含む薄膜試料の比表面積を精密に測定する装置
AIによる特許活用案
おすすめ業界 材料科学半導体製造化学工業
- 材料研究への適用
- 半導体製造プロセスへの適用
- 環境分析への適用
この装置は、新しい材料の開発や既存材料の改良における研究に使用できます。特定の元素を含む薄膜の比表面積の正確な測定は、材料の性質とその性能を理解し、改善する上で重要です。
半導体製造業界では、素材の表面積の精密な測定は極めて重要です。この装置は、製造プロセス中の材料の比表面積を測定し、製品品質を向上させるために使用できます。
環境中の特定の元素の存在を検出し分析するために、この装置を使用することが可能です。これにより、環境汚染の源を特定したり、その影響を評価したりするための詳細な情報を提供します。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2012-032066 |
| 発明の名称 | 薄膜試料の比表面積測定方法及び装置 |
| 出願人/権利者 | 国立大学法人広島大学、マツダ株式会社 |
| 公開番号 | 特開2013-167584 |
| 登録番号 | 特許第0005919024号 |
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
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