国立大学法人 熊本大学
革新的な酸化亜鉛結晶層製造装置
国立大学法人 熊本大学
革新的な酸化亜鉛結晶層製造装置
本装置は、酸化亜鉛結晶層製造において、高効率かつ低コストを実現するための革新的な技術です。原料溶液を霧化し、キャリアガスにより基板上に搬送することで、酸化亜鉛結晶層を形成します。装置は、成長室、ミスト発生器、キャリアガス供給手段、供給管を備えています。特に、成長室は回転ステージ、基板、ヒーター、ノズルを有しています。基板はm面サファイア基板であり、ノズルは基板との距離を可変可能なノズルであることが特徴です。この機構により、酸化亜鉛結晶層の製造プロセスが大気圧下で行えるため、真空プロセス等の設備を必要とせず、製造コストを抑えることが可能です。
つまりは、ミスト化学気相成長法により、酸化亜鉛結晶層の製造を効率化し、コストを削減する装置
AIによる特許活用案
おすすめ業界 半導体業界LED製造業界マテリアルサイエンス業界
- LED製造プロセスの改善
- 高品質な酸化物薄膜の製造
- 新素材の開発と応用
本装置を使用することで、発光ダイオード(LED)の製造プロセスにおける酸化亜鉛結晶層の形成を効率化し、製造コストを大幅に削減することが可能です。特に、インジウムの枯渇に伴う代替材料として注目されている酸化亜鉛の製造における有力な選択肢となります。
本装置は、非常に均質で結晶性の高い酸化亜鉛層を形成することができます。これにより、LEDなどの発光素子の性能向上に寄与します。また、結晶性の高い酸化亜鉛層を形成するための真空プロセスや高純度ガスなどを必要とせず、製造コストを抑えることが可能です。
酸化亜鉛結晶層の製造を効率化し、コストを削減する本装置は、新たな酸化亜鉛ベースの素材の開発と応用に大いに寄与します。例えば、高性能な電子デバイスやエネルギーハーベスティングデバイス、次世代の太陽電池など、酸化亜鉛結晶層を活用した新たなアプリケーションの開発に役立ちます。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2013-033503 |
| 発明の名称 | 酸化亜鉛結晶層の製造方法及びミスト化学気相成長装置 |
| 出願人/権利者 | 国立大学法人 熊本大学 |
| 公開番号 | 特開2014-063973 |
| 登録番号 | 特許第0006137668号 |
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
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