国立研究開発法人産業技術総合研究所
真空内での高精度直線移動が可能な直線駆動導入器
国立研究開発法人産業技術総合研究所
真空内での高精度直線移動が可能な直線駆動導入器
本特許は、大気側から真空側へ直線移動させるための移送機に関するもので、特に中空型構造とすることが出来、上真空内で使用する検出器や光学素子、材料等の位置制御を可能にする直線駆動導入器等に関する。特許文献2-5の技術では、可動部の前後を伸縮自在なベローズで連結するために、中空型構造とすることが出来ず、大気側から真空側へ機器を直線移動させるための移送器としては用いることが出来なかった。本特許では、その問題を解決し、装置の小型化も可能としている。
つまりは、真空内で使用する検出器や光学素子、材料等の位置制御を可能にする直線駆動導入器の特許
AIによる特許活用案
おすすめ業界 半導体製造業光学機器製造業精密機器製造業
- 真空内での精密な位置制御が必要な装置の開発
- 小型化が求められる装置の開発
- 高精度な位置制御と小型化を両立した装置の開発
上真空内で使用する検出器や光学素子、材料等の位置制御が必要な装置に本特許の技術を適用することで、高精度な直線移動が可能となり、装置の性能向上が期待できます。
本特許の技術を適用することで、直線駆動導入器の小型化が可能となります。これにより、限られたスペース内での設置や運用が可能となる装置の開発が可能になります。
本特許の技術を適用することで、高精度な直線移動と装置の小型化を両立することが可能となります。これにより、高性能かつコンパクトな装置の開発が可能となり、様々な用途に対応する装置の開発が期待できます。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2013-043248 |
| 発明の名称 | 直線駆動導入器 |
| 出願人/権利者 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 | 特開2014-170497 |
| 登録番号 | 特許第0006066073号 |
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
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