国立研究開発法人産業技術総合研究所
プラズマエッチングの新時代: 高精度かつ効率的な装置
国立研究開発法人産業技術総合研究所
プラズマエッチングの新時代: 高精度かつ効率的な装置
本特許は、高精度なプラズマエッチングを実現する装置に関する。特許によれば、プラズマエッチング装置は、直線状の複数の挿通孔が平行に等間隔に設けられたノズルと、前記挿通孔を有する管体を複数備える。これら複数の管体は平行かつ等間隔に配置され、ウェハを冷却する冷却部が設置される。また、ノズルからのエッチングガスの吹き付け方向に交差する方向にステージを移動させるスキャン部を具備することが特徴である。この方式により、エッチングプロセスの精度と効率性を向上させることが可能となる。
つまりは、本特許は、エッチングガスの吹き付け方向と交差する方向にステージを移動させる機能と、ウェハを冷却する部分を含む高効率のプラズマエッチング装置に関する。
AIによる特許活用案
おすすめ業界 半導体製造マイクロエレクトロニクスナノテクノロジー
- プラズマエッチング装置の製造
- 既存のエッチング装置のアップグレード
- カスタムエッチングソリューションの提供
本特許の技術を使用して、新たなプラズマエッチング装置を製造する。この装置は、エッチングガスの吹き付け方向と交差する方向にステージを移動させ、ウェハを冷却する冷却部を具備することにより、エッチングプロセスの精度と効率性を向上させる。
既存のプラズマエッチング装置に本特許の技術を組み込むことで、装置の性能を向上させる。具体的には、エッチングガスの吹き付け方向と交差する方向にステージを移動させるスキャン部やウェハを冷却する冷却部を追加する。
顧客の具体的なニーズに応じたカスタムエッチングソリューションを提供する。たとえば、特定のマテリアルや形状のウェハに対するエッチング要件に対応した装置の設計や製造を行う。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2014-035544 |
| 発明の名称 | ノズル式のプラズマエッチング装置 |
| 出願人/権利者 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 | 特開2014-212302 |
| 登録番号 | 特許第0006292470号 |
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