富士通株式会社
光電池による革新的な電力供給
富士通株式会社
光電池による革新的な電力供給
本発明は、リソグラフィー技術における電力供給問題を解消するための新技術に関連しています。特に、EUV（極紫外）光を用いたリソグラフィー技術における電力供給の課題を光電池により解決します。EUV露光マスクの動作中に電源を配置する必要があり、重い電池を備えることは様々な問題を引き起こす可能性があります。これらの問題を解決するために、本発明では光電池を用いた無線給電の方式を提案します。この方式では、EUV露光装置側に送電機構を、ベリクル側に受電機構を設置します。これにより、装置構成の複雑化や送受電デバイスの設置スペース等の問題を解消します。
つまりは、無線給電を可能にする光電池に関する技術
AIによる特許活用案
おすすめ業界 半導体製造電気電子ナノテクノロジー
- ナノリソグラフィー装置の電力供給
- 電力供給方式の改善
- 製造プロセスの効率化
本発明を用いることで、ナノリソグラフィー装置の電力供給を改善可能です。装置内部への電池等の設置によるスペースの問題や重量の問題を解消し、装置の小型化や高性能化を実現します。
現行の電力供給方式には数多くの問題が存在します。特に、機械的な強度や耐久性の問題、電池の交換による発塵問題などがあります。本発明の技術を用いれば、これらの課題を解消し、より効率的な電力供給方式を実現します。
本発明を活用することで、半導体装置の製造プロセスを効率化することができます。電池交換の手間を減らし、装置のダウンタイムを短縮します。これにより、生産効率の向上とコスト削減に寄与します。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2013-110957 |
| 発明の名称 | 光電池 |
| 出願人/権利者 | 富士通株式会社 |
| 公開番号 | 特開2014-229864 |
| 登録番号 | 特許第0006069706号 |
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
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