古河機械金属株式会社
最高の品質で堆積物を形成する気相成長装置
古河機械金属株式会社
最高の品質で堆積物を形成する気相成長装置
この特許は、基板の加熱温度によって熱膨張するヒータケースとその応力を管理する気相成長装置に関するものです。特に、基板を高温に加熱する場合に、ヒータケースの熱膨張量が増大しすぎても、装置はその応力を吸収することができます。これにより、堆積物の形成に最適な温度を維持しながら、より効率的に堆積物を形成することが可能になります。装置はヒータケース、そのヒータケースを覆うヒータ、複数の支持部を備えており、ヒータケースはヒータと対向する面状の対向部を有します。この対向部には、各支持部と対応する通穴が形成され、各支持部は対応する通穴を貫通しながら周囲縁部を支持します。
つまりは、高温でも応力を吸収し、堆積物の形成を可能にする気相成長装置
AIによる特許活用案
おすすめ業界 半導体製造材料科学化学工業
- 高温下でも安定した半導体の製造
- 化学工業での新素材開発
- 材料科学の研究における利用
この気相成長装置は、ヒータケースの熱膨張を制御し、高温下でも安定した堆積物の形成を可能にするため、半導体製造業界での品質と生産効率の向上に大いに貢献できます。
化学工業における新素材の開発や改善では、様々な温度条件下での反応が必要となります。この装置はそのような厳しい環境下でも応力を吸収し、安定した結果を得られるため、新素材の品質向上や生産効率の改善に寄与します。
材料科学の研究では、新しい材料の特性を解明するために様々な温度での実験が求められます。この気相成長装置は、広い温度範囲での安定した結果を提供することができ、研究者が新しい発見をする手助けをします。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2013-144928 |
| 発明の名称 | 気相成長装置及び気相成長用加熱装置 |
| 出願人/権利者 | 古河機械金属株式会社 |
| 公開番号 | 特開2015-018924 |
| 登録番号 | 特許第0006129666号 |
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