古河機械金属株式会社
革新的な気相成長装置：安定した成長環境を保証
古河機械金属株式会社
革新的な気相成長装置：安定した成長環境を保証
本特許は、気相成長装置と気相成長用加熱装置に関するもので、抵抗発熱体が断線した場合でもサセプタや基板の温度条件に影響を与えず、堆積物の形成を継続することが可能です。具体的には、加熱部が第1抵抗発熱体と第2抵抗発熱体を電気的に並列に接続し、それぞれの抵抗発熱体の両端間の中間に位置する結節点を相互に電気的に接続する接続導体を有します。これにより、一方の抵抗発熱体が断線しても、他方の抵抗発熱体が正常に作動し続け、結果的に温度条件を維持することができます。これにより、堆積物の品質と量を安定して確保することが可能となります。
つまりは、抵抗発熱体が断線しても温度条件に影響を与えずに堆積物を形成する気相成長装置
AIによる特許活用案
おすすめ業界 半導体製造業ナノテクノロジー研究開発
- 高品質な半導体製造
- 研究・開発の効率化
- 気相成長装置の製造・販売
本特許の気相成長装置を用いることで、抵抗発熱体の断線による温度変動の影響を受けずに、堆積物の形成を続けることができます。これにより、半導体製造のプロセス中での品質管理をより厳密に行うことが可能となります。
本特許の気相成長装置を研究開発の現場で使用することで、抵抗発熱体の断線による実験の中断や結果のばらつきを防ぎ、研究効率を向上させることができます。
本特許の技術を採用した気相成長装置を製造・販売することで、気相成長法を使用する各業界からの需要を掘り起こすことができます。抵抗発熱体の断線問題を解決した製品は、品質安定性の観点から優れた競争力を持つことができます。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2013-150145 |
| 発明の名称 | 気相成長装置及び気相成長用加熱装置 |
| 出願人/権利者 | 古河機械金属株式会社 |
| 公開番号 | 特開2015-023153 |
| 登録番号 | 特許第0006253289号 |
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