国立研究開発法人物質・材料研究機構
ナノスケールでの熱伝導測定を可能にする革新的な方法
国立研究開発法人物質・材料研究機構
ナノスケールでの熱伝導測定を可能にする革新的な方法
本特許は、微小熱伝導率測定装置を使用して、試料上の複数の加熱点を順次加熱し、その結果を検出する方法について記述しています。また、その方法では、加熱は電子線によって行われ、その影響を較正出力によって補正します。さらに、熱電対の接触点から加熱点までの距離及び加熱点に対応する温度上昇に基づいて熱伝導率を求めます。この方法により、ナノ・ミクロスケールの微小領域における熱伝導率を正確に測定することが可能になります。
つまりは、本特許では、微小な領域における熱伝導率を精密に測定する装置および方法について述べられています。
AIによる特許活用案
おすすめ業界 半導体製造業素材研究業ナノテクノロジー業界
- 熱伝導性の研究
- 半導体の品質管理
- ナノテクノロジーの開発
特許の方法は、新しい素材やデバイスの開発において、その熱伝導性を詳細に理解するための有用なツールとなります。特に、ナノスケールでの熱伝導性は、デバイスの性能や安全性に大きな影響を与えるため、その測定は重要です。
この特許の技術は、半導体製造業における品質管理にも応用できます。製造過程での微小な熱伝導率の変化を検出することで、製品の性能を向上させ、製造コストを削減することが可能になります。
ナノテクノロジーの領域では、マテリアルの振る舞いをナノレベルで理解することが必要です。この特許の技術は、ナノスケールでの精密な熱伝導率測定を可能にするため、新たなナノデバイスやナノ材料の開発に貢献することが期待されます。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2013-172783 |
| 発明の名称 | 微小熱伝導率測定装置及び測定方法 |
| 出願人/権利者 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
| 公開番号 | 特開2015-040801 |
| 登録番号 | 特許第0006164735号 |
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
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