国立研究開発法人物質・材料研究機構
革新的な感度を持つ新世代のピエゾ抵抗表面応カセンサ
国立研究開発法人物質・材料研究機構
革新的な感度を持つ新世代のピエゾ抵抗表面応カセンサ
本特許は、シリコン単結晶の膜を用いたピエゾ抵抗表面応カセンサに関するもので、従来のピエゾ抵抗カンチレバータイプのセンサと比較して優れた感度を持つことが特徴です。この新型センサは、シリコン単結晶膜の一部がp型である一方、膜の本体がn型であるという独自の構成を持ちます。その結果、固定端の対の一対が単結晶の[110]方向に、対の他の一対が単結晶の[1-10]方向に配置されることで、高い感度を実現しています。また、このセンサは、光学読み取りに関連する複雑でかさばった周辺機器を必要とせず、CMOSと同様の製造プロセスで量産化が可能、さらには超小型化による既存の半導体デバイスへの統合も可能です。
つまりは、この特許は、高い感度を持つ新型のシリコン単結晶膜を用いたピエゾ抵抗表面応カセンサに関するものです。
AIによる特許活用案
おすすめ業界 半導体業界バイオセンサー業界ヘルスケア業界
- 超小型デバイスへの統合
- バイオセンサーとしての利用
- 産業プロセスのモニタリング
この新型センサの超小型化を活かし、スマートフォンやウェアラブルデバイス等の既存の半導体デバイスに統合することで、リアルタイムでの環境モニタリングや健康状態の追跡が可能となります。
本センサは、不透明な液体中でも検出が可能であるため、血液などの体液中のバイオマーカーを検出するバイオセンサーとしての応用が期待されます。これにより、疾患の早期発見や治療の効果判定などに役立てることができます。
高感度でリアルタイムな検出が可能な本センサは、化学反応の進行状況や製造プロセス中の品質管理など、各種産業プロセスのモニタリングに利用できます。これにより、製品の品質向上や生産効率の改善が期待できます。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2014-226301 |
| 発明の名称 | 表面応力センサ |
| 出願人/権利者 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
| 公開番号 | 特開2015-045657 |
| 登録番号 | 特許第0005891465号 |
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
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