日本放送協会
精密な欠陥密度測定装置
日本放送協会
精密な欠陥密度測定装置
本特許は、欠陥密度測定装置に関するもので、ゲート容量比較手段とパラメータ出力手段を備えています。比較を行った結果、所定の条件で一致しない場合、欠陥容度に関するパラメータ群の値を変更するパラメータ変更手段を有します。これにより、フェルミ準位、表面ボポテンシャル、ゲート容量を順次計算します。一致するまで、このパラメータ群の値の変更と計算を反復することが特徴です。また、欠陥密度に関するパラメータ群の中から予め定められた1又は2以上のパラメータについて、ゲート容量の測定値と計算値との一致度が向上するように最適化します。これにより、精度の高い欠陥密度の測定が可能となります。
つまりは、欠陥密度に関するパラメータとゲート容量を反復計算し、最適化を行う欠陥密度測定装置
AIによる特許活用案
おすすめ業界 半導体製造電子機器製造マイクロエレクトロニクス
- 最適化アルゴリズムの開発
- 欠陥診断ツールの開発
- 半導体教育ツールの開発
本特許を活用し、欠陥密度に関するパラメータの最適化アルゴリズムを開発することで、より高度な半導体製品の開発が可能となります。
本特許の技術を活用して、半導体製造過程での欠陥診断ツールを開発することが可能です。これにより、生産効率の向上と品質保証が期待できます。
本特許を基にした半導体の欠陥密度測定の教育ツールを開発し、電子工学や物理学の教育現場で使用することが可能です。これにより、理論と実践のギャップを埋め、より実践的な教育が行えます。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2014-163860 |
| 発明の名称 | 欠陥密度測定装置及び欠陥密度測定プログラム |
| 出願人/権利者 | 日本放送協会 |
| 公開番号 | 特開2015-079938 |
| 登録番号 | 特許第0006389395号 |
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
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