学校法人関西学院
革新的な走査型電子顕微鏡用標準試料とその評価方法
学校法人関西学院
革新的な走査型電子顕微鏡用標準試料とその評価方法
本特許は、走査型電子顕微鏡の性能評価とSiC基板の品質評価に使用できる特殊な標準試料とその製造方法について述べています。試料は同心円状または相似六角形状のステップテラス構造を有し、中心から外側に向かって高さが増加します。テラスの幅は0.1m以上207m以下です。この試料は、4H-SiCまたは6H-SiCの基板表面に凹部を形成し、Si蒸気圧下で基板を加熱することで製造されます。この試料を用いて走査型電子顕微鏡の性能を評価したり、SiC基板の品質を評価したりします。
つまりは、走査型電子顕微鏡の性能とSiC基板の品質を評価できる革新的な試料と方法
AIによる特許活用案
おすすめ業界 半導体製造マイクロスコピー素材科学
- 品質管理の強化
- 研究開発の推進
- 教育資材としての利用
この特許技術を活用することで、走査型電子顕微鏡の性能とSiC基板の品質を評価するための新たな手段を得ることができます。これにより、製品の品質管理をより厳密に行うことが可能になります。
この特許技術を用いて、SiC基板の開発や改良を行う研究を進めることが可能です。また、走査型電子顕微鏡の使用技術を向上させるための研究にも利用できます。
この特許技術を活用し、走査型電子顕微鏡の操作技術を学ぶ教育資材として利用することが可能です。具体的な試料とその評価方法を学ぶことで、理論だけでなく実践的なスキルも身につけることができます。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2015-036074 |
| 発明の名称 | 走査型電子顕微鏡用標準試料、その製造方法、走査型電子顕微鏡の評価方法、及びＳｉＣ基板の評価方法。 |
| 出願人/権利者 | 学校法人関西学院 |
| 公開番号 | 特開2015-179082 |
| 登録番号 | 特許第0006525189号 |
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
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