古河機械金属株式会社
高機能ガス流通管の取付具、効率を高める技術の新たな進化
古河機械金属株式会社
高機能ガス流通管の取付具、効率を高める技術の新たな進化
本特許は、半導体結晶膜を成長させる気相成長装置の反応炉でガスを流通させるガラス管の取り付け具に関するものです。この取り付け具は金属管、環状のシール部材、ガラス管を保持する押圧部材、そして押圧部材を金属管に固定する止着部材から成り立っています。これらの部品は、ガラス管の外周面と金属管の内周面との間でシールを形成し、ガスの漏れを防ぐ役割を果たします。特に、シール部材は第1シール部材と第2シール部材から構成されており、それぞれが金属管の内部空間と、金属管及び管状部の外部空間との間でシールを形成します。これにより、ガスの流通が確実に行われるようになっています。
つまりは、半導体結晶膜を成長させる気相成長装置の反応炉でガスを流通させるガラス管の取り付け具。
AIによる特許活用案
おすすめ業界 半導体製造業化学工業ガラス製造業
- 高性能半導体の製造効率向上
- ガラス管の取り付け時間短縮
- 安定したガス供給による品質向上
この取り付け具を使用することで、半導体結晶膜を成長させる際のガスの流通が確実に行われ、製造効率が向上します。また、ガスの漏れを防ぐことで安全性も確保されます。
この取り付け具を使用することで、ガラス管の取り付け作業が容易になり、作業時間を大幅に短縮することができます。これにより、生産性の向上が期待できます。
この取り付け具を使用することで、ガス供給が安定し、半導体結晶膜の品質が一定に保たれます。これにより、製品の品質向上やリジェクト率の低下を実現することが可能となります。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2014-123578 |
| 発明の名称 | ガス流通管の取付具及び気相成長装置 |
| 出願人/権利者 | 古河機械金属株式会社 |
| 公開番号 | 特開2016-004868 |
| 登録番号 | 特許第0006345497号 |
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
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