日本放送協会
高感度・高解像度を可能にする固体撮像素子の製造方法
日本放送協会
高感度・高解像度を可能にする固体撮像素子の製造方法
本特許は、CMOSからなる固体撮像素子の製造方法を提供します。撮像素子の接合処理に原子拡散接合処理を用い、光電変換層には少なくとも一部にMoが配された層、またはS i層上に成膜します。さらに、光電変換層を構成するCIGS膜は、多元蒸着法と3段階成長方式を用いて成膜されます。この3段階成長方式では、成膜の進行程度に伴い、第1段階は相対的に低温、第2段階は相対的に高温、第3段階は相対的に低温と温度制御されます。また、半導体基板の上方にはCIGSからなる変換層、N型とP型の半導体層、透明電極、ガラス板などが積層されます。この技術により、高解像度化に伴う受光感度低下の問題を解決し、さらなる高感度化を実現します。
つまりは、原子拡散接合処理を活用した固体撮像素子の製造方法で、光電変換層にMoやS iを使用し、CIGS膜の成膜に3段階成長方式を採用する技術。
AIによる特許活用案
おすすめ業界 半導体製造業電子部品製造業映像機器製造業
- 高感度撮像素子の製造
- 高解像度撮像素子の開発
- 撮像素子の製造プロセスの最適化
この技術を用いて、受光感度が高い固体撮像素子を製造します。これにより、暗い環境でも高品質な映像を撮影することが可能になります。
この技術を活用し、高解像度の固体撮像素子を開発します。これにより、より詳細な画像を撮影することが可能になります。
この技術を用いて、撮像素子の製造プロセスを最適化します。3段階成長方式により、製造コストを抑えつつ、品質の高い撮像素子を製造することが可能になります。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2015-009940 |
| 発明の名称 | 固体撮像素子およびその製造方法 |
| 出願人/権利者 | 日本放送協会 |
| 公開番号 | 特開2016-134576 |
| 登録番号 | 特許第0006465665号 |
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