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高感度で高解像度な固体撮像素子の製造方法

日本放送協会

東京都

この技術でできること

本特許は、固体撮像素子の製造方法を提供します。特に、光電変換部にCu、InまたはGa、SまたはSeを含むカルコパイライト構造の化合物半導体膜(CIGS膜)を備えた固体撮像素子の製造方法に焦点を当てています。これは受光感度低下の問題を解決するための手法で、CMOS固体撮像素子の裏面から光を照射する構造を採用しています。また、CIGSは優れた量子効率、光吸収係数、安定性を兼ね備えており、固体撮像素子の光電変換部用材料として期待されています。特に、膜厚が薄くても光を十分に吸収することができ、印加電圧が低くても高い内部電界を与えることが可能です。これにより、膜中でのキャリア増倍動作を可能とし、さらなる高感度化をもたらします。

CIGS膜を用いた固体撮像素子の製造方法で、更なる高解像度と受光感度を実現。

技術の特徴

掲載画像
固体撮像素子製造方法CIGS膜高解像度高感度

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参考情報

活用条件

  • サブスクリプション・未選択
  • 権利譲渡・未選択
  • ライセンス契約・未選択
商品化・サービス化
ASK
実証実験
ASK
サンプル・プロトタイプ
ASK

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権利概要

出願番号
特願2015-009941
発明の名称
固体撮像素子の製造方法
出願人/権利者
日本放送協会
住所
東京都
公開番号
特開2016-134577
登録番号
特許第6465666号
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