国立研究開発法人物質・材料研究機構
熱電変換性能を最適化する革新的なTiN薄膜熱電半導体
国立研究開発法人物質・材料研究機構
熱電変換性能を最適化する革新的なTiN薄膜熱電半導体
本発明は、TiN薄膜熱電半導体の製造方法に関するもので、スパッタ成膜条件を制御し、配向性や熱電変換性能指数、出力因子等の特性を最適化する方法を提供します。特に、室素及びアルゴンからなるプロセスガスを使用し、アルゴン分圧比を設定することで、窒化チタン薄膜熱電半導体の結晶配向及び出力因子を制御します。これにより、TiN薄膜半導体の熱電変換性能向上を実現します。また、この方法により製造されたTiN薄膜熱電半導体を使用した熱電発電素子も提供します。この技術は、エネルギー回収と変換の効率化に貢献し、省エネルギー社会の実現に向けた一歩となるでしょう。
つまりは、スパッタ成膜条件を制御することでTiN薄膜熱電半導体の配向性や熱電変換性能を最適化する方法を提供します。
AIによる特許活用案
おすすめ業界 エネルギー半導体電子機器
- エネルギー効率の高い熱電発電素子の開発
- エネルギー回収システムの改善
- 高性能冷却装置の開発
この技術を使用して、熱電発電素子の開発を行うことができます。熱エネルギーを効率的に電気エネルギーに変換する能力は、再生可能エネルギーや廃熱回収システムなど、様々なアプリケーションで有用です。
工場や発電所など、大量の廃熱を排出する施設では、この技術を活用してエネルギー回収システムを改善し、エネルギー効率を向上させることが可能です。これにより、エネルギーコストの削減と環境負荷の軽減を達成できます。
TiN薄膜熱電半導体は、その優れた熱電変換性能を利用した静かで高性能な冷却装置の開発にも利用することができます。これは、データセンターや高性能コンピュータなど、大量の熱を発生するデバイスの冷却に役立ちます。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2015-060270 |
| 発明の名称 | 窒化チタン薄膜熱電半導体の製造方法 |
| 出願人/権利者 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
| 公開番号 | 特開2016-181571 |
| 登録番号 | 特許第0006474078号 |
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
準備中です