国立研究開発法人産業技術総合研究所
熱電材料を次のレベルへ - シリコン微結晶複合体膜の製造
国立研究開発法人産業技術総合研究所
熱電材料を次のレベルへ - シリコン微結晶複合体膜の製造
本発明は、シリコン微結晶と鉄原子からなるシリコン微結晶複合体膜の製造方法について記述しています。シリコン微結晶は、金属とシリコンの合金を熱処理することで得られ、この複合体膜は、高い電気伝導特性、面熱性、耐酸化性、耐食性を有します。シリコンナノ結晶と金属シリサイドナノ結晶からなる半導体材料が、この複合体膜の主成分となっています。この製造方法は、金属とシリコンの合金を熱処理し、シリコンナノ結晶と金属シリサイド微結晶に相分離させることで得られます。このシリコン微結晶複合体膜は、電気伝導特性等に優れ、電極、高温構造物、耐環境用コーティングなどの材料として使用することが可能です。
つまりは、高い電気伝導特性を持つシリコン微結晶複合体膜とその製造方法
AIによる特許活用案
おすすめ業界 半導体製造電子工学素材科学
- 高温構造物の製造
- 電極材料としての利用
- 耐環境用コーティングの開発
高い電気伝導特性と耐環境性を有する本発明のシリコン微結晶複合体膜は、高温に耐えられる構造物の製造に活用することが可能です。
本発明のシリコン微結晶複合体膜は、その優れた電気伝導特性を活かして、電極材料として使用することができます。
本発明のシリコン微結晶複合体膜は、その耐酸化性と耐食性を利用して、耐環境用コーティングの開発に活用することができます。これにより、様々な環境下でも性能を維持する製品の開発が可能となります。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2015-129045 |
| 発明の名称 | シリコン微結晶複合体膜、熱電材料及びそれらの製造方法 |
| 出願人/権利者 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 | 特開2017-017068 |
| 登録番号 | 特許第0006502193号 |
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
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