国立研究開発法人物質・材料研究機構
高い空間分解能と導電性を有するカーボンナノチューブ探針
国立研究開発法人物質・材料研究機構
高い空間分解能と導電性を有するカーボンナノチューブ探針
本特許は、カーボンナノチューブを備えた探針を使用するプローブ及びその製造方法に関する。カーボンナノチューブ探針は、その高い空間分解能により試料表面の精密なスキャンが可能であり、かつ高い導電性を活用した微小領域の電気特性計測も可能となる。しかし、これまではプローブ全体の導電性が不安定であったため、電気特性計測用途には使用されてこなかった。本特許では、この問題を解決するためカーボンナノチューブ探針を含めた全体を金属皮膜で被覆し、プローブ全体の導電性を確保する方法を提案している。
つまりは、カーボンナノチューブ探針を使用した、試料表面の高精度スキャンと電気特性計測が可能なプローブ及びその製造方法に関する特許
AIによる特許活用案
おすすめ業界 ナノテクノロジー医療機器電子機器
- 高精度な電子顕微鏡の開発
- 高導電性を持つ医療機器の開発
- 精密検査機器の開発
この技術を活用することで、高精度な電子顕微鏡の開発が可能となる。カーボンナノチューブ探針を使用したプローブは、微小領域の電気特性を高精度に計測することが可能であるため、電子顕微鏡の精度を大幅に向上させることができる。
本特許を活用し、カーボンナノチューブ探針を使用した医療機器の開発が可能となる。例えば、生体内の微小領域の電気特性を計測するための医療機器などにこの技術を活用することが考えられる。
カーボンナノチューブ探針を使用したプローブは、高い空間分解能と導電性を持つため、精密検査機器の開発に活用することができる。例えば、半導体製造工程における微細な欠陥の検出や、材料の微細構造解析などの分野で活用することが考えられる。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2015-136715 |
| 発明の名称 | 走査型プローブ顕微鏡用のプローブの製造方法 |
| 出願人/権利者 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
| 公開番号 | 特開2017-020826 |
| 登録番号 | 特許第0006608634号 |
- サブスク
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