国立大学法人金沢大学
革新的な成膜装置と方法で省エネと環境負荷を低減
国立大学法人金沢大学
革新的な成膜装置と方法で省エネと環境負荷を低減
本特許の成膜装置は、プラズマ流発生装置と成膜原材料との接触供給部を備えています。大気圧下で発生させた非熱平衡プラズマ流と成膜原材料を接触させることで、原材料をガス化し、生成された混合プラズマ流を被成膜基材上に到達させます。これにより、真空装置が不要で装置が簡単になり、スピンコート法のような溶媒が不要となるため、環境負荷を低減します。また、成膜原材料として無機物、有機物の固体、液体等を使用でき、複数の原材料から成る複合化膜の形成も可能です。
つまりは、本特許は、大気圧非熱平衡プラズマ流を利用した低コストで各種目的に応じた成膜装置及び方法を提供します。
AIによる特許活用案
おすすめ業界 半導体産業化学産業製造業
- 省エネ型成膜装置の開発
- 環境に優しい成膜方法の提供
- 多機能性を持つ複合化膜の開発
現在の成膜装置は真空装置が必要で大掛かりな設備となっていますが、本特許の技術を活用することで装置の簡素化が可能となり、省エネに貢献します。
本発明を利用すれば、溶媒の使用を避けることができます。これにより、環境負荷を大幅に減らし、より環境に優しい成膜方法を提供できます。
本特許の技術を活用すれば、無機物、有機物の固体、液体等を使用した複合化膜の形成が可能となります。これにより、多機能性を持つ新たな複合化膜の開発につながります。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2016-011537 |
| 発明の名称 | 成膜装置及びそれを用いた成膜方法 |
| 出願人/権利者 | 国立大学法人金沢大学 |
| 公開番号 | 特開2017-133048 |
| 登録番号 | 特許第0006709005号 |
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
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