学校法人関西学院
革新的な走査型電子顕微鏡用標準試料とその評価方法
学校法人関西学院
革新的な走査型電子顕微鏡用標準試料とその評価方法
本特許は、特定の傾斜支持台付き標準試料とその評価方法に関するもので、その試料はステップテラス構造を有し、試料の回転によってコントラストが変化します。また、その評価方法は、走査型電子顕微鏡によって得られるコントラストの変化を比較し、電子線の方向性能や深さ性能を評価します。さらに、これらの標準試料に対するコントラストとSiC基板に対するコントラストを比較することで、SiC基板の品質評価も可能にします。これらの評価方法は、4H-SiCや6H-SiCなどの標準試料を用いて行います。この技術は、電子顕微鏡の評価やSiC基板の品質管理における新たな可能性を切り開くものです。
つまりは、高精度な走査型電子顕微鏡の性能評価とSiC基板の品質評価を可能にする新たな傾斜支持台付き標準試料
AIによる特許活用案
おすすめ業界 半導体製造業材料科学ナノテクノロジー
- 走査型電子顕微鏡の精度向上
- SiC基板の品質管理
- 新素材の開発・評価
この新たな標準試料と評価方法を用いることで、走査型電子顕微鏡の精度をより高めることが可能になります。具体的には、電子線の方向性能や深さ性能をより正確に評価し、その結果をもとに装置の調整を行うことができます。
本特許の技術を用いることで、SiC基板の品質をより正確に評価することが可能になります。これにより、製品の品質向上や不良品の早期発見、生産効率の向上が期待できます。
本特許の標準試料と評価方法は、新たな素材の開発や評価にも応用することが可能です。具体的には、新たな素材の微細な構造や性質を評価する際の基準として利用することができます。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2016-089094 |
| 発明の名称 | 傾斜支持台付き標準試料、その製造方法、走査型電子顕微鏡の評価方法、及びＳｉＣ基板の評価方法 |
| 出願人/権利者 | 学校法人関西学院 |
| 公開番号 | 特開2017-199540 |
| 登録番号 | 特許第0006664133号 |
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
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