国立研究開発法人産業技術総合研究所
高精度観察が可能な強誘電体分極ドメイン観察装置
国立研究開発法人産業技術総合研究所
高精度観察が可能な強誘電体分極ドメイン観察装置
本特許は、強誘電体の分極ドメインを高速かつ高い分解能で観察できる装置について記述しています。装置は、単色光の透過光または反射光を集光し二次元光検出器上に結像させる光学系、画像信号を処理する画像処理手段を含みます。画像処理手段は、周期に同期させて正電場及び負電場のそれぞれで撮像された1組の画像の差イメージの複数からの積算イメージを得てコントラストを与えます。また、単色光の波長は、200〜2000nmの範囲内にあることが特徴です。これにより、分極反転の状態を判別できる程度に高分解能で観察することが可能となります。
つまりは、高速かつ高分解能で強誘電体の分極ドメインを観察可能な装置の開発。
AIによる特許活用案
おすすめ業界 半導体製造業ナノテクノロジー業界研究開発
- 高精度な半導体製造への応用
- ナノテクノロジー分野への応用
- 研究開発への活用
本装置は、分極ドメインの微細な変化を高精度に観察できるため、半導体製造工程における品質管理や新規素材の開発・評価に活用することができます。特に、強誘電体を用いたメモリ素子の製造において、分極ドメイン状態の詳細な観察が可能となり、製品の性能向上や劣化原因の特定に有効に働きます。
ナノスケールの強誘電体の分極ドメインの観察が可能であるため、ナノテクノロジー分野での新素材開発や特性評価に活用できます。例えば、新たなナノ素材の電気的性質の解析や、ナノスケールでの電場応答の観察などに用いることができます。
本装置は、強誘電体の分極ドメインの観察において高分解能かつ高速な観察を可能とするため、物性物理や材料科学の研究開発に有用です。特に、強誘電体の分極ドメインの動的な挙動の解析や、新規強誘電体材料の開発・評価などに活用できます。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2016-167750 |
| 発明の名称 | 強誘電体の分極ドメイン可視化観察方法及びその装置 |
| 出願人/権利者 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 | 特開2018-036088 |
| 登録番号 | 特許第0006842080号 |
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
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