国立研究開発法人産業技術総合研究所
精密な形状測定が可能な革新的な三次元形状計測システム
国立研究開発法人産業技術総合研究所
精密な形状測定が可能な革新的な三次元形状計測システム
この三次元形状計測システムは、回転テーブルの裏面中央部に取り付けられたミラーと、その傾斜角度を計測するオートコリメータ、そして水準器を備えています。テーブルは、傾斜角度調整用アクチュエータを介して基台に固定され、オートコリメータの計測値に基づいて、テーブルが水平を維持するよう制御装置がフィードバック制御します。このシステムは、オートコリメータの計測値に基づいてアンギュラー振れを計測し、二次元形状を補正することが可能です。これにより、非常に高精度な形状測定が可能になります。特に、極めて高精度な表面形状を持つ光学部品の需要が高まる中、このシステムはそのニーズを満たすことができます。
つまりは、この発明は、回転テーブルの傾斜角度を計測し、高精度な3D形状測定を可能にするシステムに関するものです。
AIによる特許活用案
おすすめ業界 光学部品製造業半導体業界理化学研究分野
- 高精度光学部品の製造
- 半導体製造工程の精度向上
- 理化学研究分野での活用
この三次元形状計測システムを用いて、光学部品の表面形状を非常に高い精度で測定することができます。これにより、製品の品質を向上させ、顧客満足度を高めることが可能になります。
半導体製造工程では、微細な形状の測定が重要です。このシステムを活用することで、半導体の製造精度を向上させ、製品の信頼性を確保することができます。
理化学研究では、試料の形状測定が必要となる場合があります。このシステムを使用することで、試料の形状を高精度に測定し、より正確な研究結果を得ることが可能になります。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2016-195480 |
| 発明の名称 | 三次元形状計測システム |
| 出願人/権利者 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 | 特開2018-059733 |
| 登録番号 | 特許第0006800442号 |
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
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