国立研究開発法人産業技術総合研究所
革新的なカンチレバー構造体とセンサの組み合わせ
国立研究開発法人産業技術総合研究所
革新的なカンチレバー構造体とセンサの組み合わせ
本特許は、カンチレバー構造体とそれを備えたセンサ、およびその製造方法について述べています。カンチレバー部は、第一の電極と第二の電極が絶縁層を介して交差するマトリクス構造を有し、複数の交差する領域に配置されています。また、カンチレバー部の変形や第二の電極のぶりにより静電容量を変更することが可能です。センサはカンチレバー部の変位を検出し、それを静電容量の変化により読み取ります。製造方法では、第一の電極と絶縁層を介して絶縁される第二の電極を形成し、絶縁層にスルーホールを形成します。その上に、樹脂含有層を少なくとも有するカンチレバー部層を形成し、それを接着層あるいは導電性支柱層を用いて転写します。これにより、カンチレバー部は一部が第一の電極に導電接続され、一部が第二の電極から浮遊した状態になります。
つまりは、高感度でフレキシブルなカンチレバー構造体を備えたセンサとその製造方法に関する特許
AIによる特許活用案
おすすめ業界 センサ製造業電子機器製造業ヘルスケア業界
- 高感度センサの製造
- フレキシブルなセンサの開発
- センサの大量生産
この特許の技術を利用して、高感度なセンサを製造することが可能です。カンチレバー構造体の特性を活用すれば微小な変化も捉えることができ、より精度の高いセンサを作り出すことができます。
この特許の技術は、フレキシブルな基板を使用することで、より多様な形状や環境に適応可能なセンサの開発が可能です。これにより、特定の場所や環境でのみ使用可能だったセンサを、より広範な用途に展開することができます。
この特許の製造方法を活用することで、カンチレバー構造体を備えたセンサの大量生産が可能になります。特に、スルーホールを形成し、樹脂含有層を少なくとも有するカンチレバー部層を形成し、それを接着層あるいは導電性支柱層を用いて転写する工程は、大量生産に適しています。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2016-211053 |
| 発明の名称 | カンチレバー構造体及びこれを備えるセンサ並びに製造方法 |
| 出願人/権利者 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 | 特開2018-069369 |
| 登録番号 | 特許第0006818297号 |
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
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