国立研究開発法人産業技術総合研究所
革新的な中空構造体の製造方法
国立研究開発法人産業技術総合研究所
革新的な中空構造体の製造方法
本特許は、微細機械要素と電子回路要素を融合したMEMS(Micro Electro Mechanical System)素子などに使用される中空構造体の製造方法に関するもので、樹脂含有層を形成した基材と、支柱層を設けた基材とを接着し、その後硬化する工程を含む。また、この樹脂含有層は1層または複数の層からなり、樹脂を含まない層を包含する構造を有することが特徴である。さらに、この樹脂含有層は機能性粒子を含有しており、変位部材となることが可能である。
つまりは、MEMS素子などに使用される中空構造体の製造方法を特許化
AIによる特許活用案
おすすめ業界 半導体製造マイクロマシン製造電子機器製造
- 高精度なMEMS素子の製造
- 高機能な圧力センサの開発
- 多機能なマイクロマシンの製造
この特許技術を用いて、微細な機械要素と電子回路要素を組み合わせた高精度なMEMS素子を製造することが可能です。特に、樹脂含有層と支柱層の接着と硬化工程は、精密な中空構造体の製造に対応します。
この特許技術を活用することで、中空構造体を有する高機能な圧力センサの開発が可能となります。樹脂含有層が変位部材となる特性を活かし、より精密な圧力検出が可能となります。
樹脂含有層が機能性粒子を含有している特性を利用し、多機能なマイクロマシンの製造が可能です。機能性粒子を調整することで、様々な機能を持つマイクロマシンを製造することが可能となります。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2017-085837 |
| 発明の名称 | 中空構造体の製造方法 |
| 出願人/権利者 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 | 特開2018-069440 |
| 登録番号 | 特許第0006945838号 |
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
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