学校法人明治大学
革新的なシリコン結晶中の炭素濃度測定技術
学校法人明治大学
革新的なシリコン結晶中の炭素濃度測定技術
本特許は、シリコン結晶中の炭素濃度を精密に測定する新たな方法と装置に関するものです。炭素濃度の測定は、シリコン結晶の原子格子位置に存在する炭素を格子間位置に変位させ、その後の発光スペクトルから特定波長の発光強度を測定することで実現されます。この測定方法は、特定の波長が1140nmと1610nmであることを特徴としており、その結果から炭素濃度が算出されます。さらに、一括測定機能を持つスペクトル測定部を装備した炭素濃度測定装置も提供されています。これにより、高速かつ高精度な炭素濃度測定が可能となります。
つまりは、高精度で迅速な炭素濃度測定を可能にする特定波長の発光強度に基づく炭素濃度測定方法と装置
AIによる特許活用案
おすすめ業界 半導体製造業素材科学研究・開発
- 高品質半導体の製造
- 素材研究の進展
- 炭素濃度測定装置の製造・販売
本特許の技術は、シリコン結晶中の炭素濃度を精密に測定することが可能なため、高品質な半導体の製造に活用できます。炭素濃度の制御は半導体の品質向上に直結するため、この技術を活用することで製品の品質を一層向上させることが可能となります。
本特許の技術は素材研究にも活用可能です。特に、シリコン結晶の特性に関する研究において、高精度な炭素濃度測定が可能となるため、より詳細なデータ分析や新たな発見につながる可能性があります。
本特許の技術を活用して、炭素濃度測定装置を製造・販売することも可能です。半導体製造業や研究機関などからの需要が見込まれ、新たなビジネスチャンスが広がる可能性があります。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2018-003897 |
| 発明の名称 | 炭素濃度測定方法及び炭素濃度測定装置 |
| 出願人/権利者 | 学校法人明治大学 |
| 公開番号 | 特開2018-125524 |
| 登録番号 | 特許第0007026371号 |
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