国立大学法人茨城大学
スマートで効率的なターゲット損耗検出機構
国立大学法人茨城大学
スマートで効率的なターゲット損耗検出機構
本発明は、スパッタリングによる薄膜形成のために使用されるターゲットの損耗状況を監視し、その損耗が一定の範囲に達したときにスパッタリングを停止させるターゲット損耗検出機構に関するものです。本技術は、エロージョン領域の深さ位置まで背面溝を設け、その損耗状況を光検出手段で検出します。そして、特定の損耗レベルが到達したときにスパッタリングを停止させます。これにより、ターゲットの交換タイミングを正確に把握し、基板が材料以外のもので汚染されるのを防ぎ、スパッタリング装置の破損を防ぐことができます。また、効率的なスパッタリングプロセスを実現し、生産コストを削減します。
つまりは、スパッタリングプロセス中のターゲット損耗をリアルタイムで検出し、適切な交換タイミングを知らせる技術。
AIによる特許活用案
おすすめ業界 半導体製造ナノテクノロジー電子部品製造
- 半導体製造プロセスの効率化とコスト削減
- 高品質な電子部品の製造
- ナノテクノロジー研究への活用
半導体製造プロセスでは、スパッタリング法が頻繁に使用されます。本技術を導入することでターゲットの交換タイミングを正確に把握し、損耗による装置の破損や汚染を防ぐことができます。これにより、スパッタリングプロセスが効率化され、製造コストが削減されます。
電子部品の製造では、薄膜形成が重要な工程です。本技術を使用することで、ターゲットの適切な交換タイミングを知ることができ、不必要なスパッタリングを防ぎます。これにより、高品質な電子部品を一貫して製造することが可能になります。
ナノテクノロジーの研究においても、スパッタリング法は頻繁に使用されます。本技術を活用することで、スパッタリング中のターゲット損耗を正確に把握し、効率的な研究を実現します。これにより、ナノテクノロジー研究の進行をスムーズにし、より精度の高い研究結果を得ることが可能になります。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2018-085088 |
| 発明の名称 | ターゲット損耗検出機構及びそれを備えたスパッタ装置並びにターゲット損耗検出方法 |
| 出願人/権利者 | 国立大学法人茨城大学 |
| 公開番号 | 特開2019-007076 |
| 登録番号 | 特許第0006653906号 |
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
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