国立研究開発法人産業技術総合研究所
高度な精度を実現する位置決めルーチンの新次元
国立研究開発法人産業技術総合研究所
高度な精度を実現する位置決めルーチンの新次元
本特許は、X、Y、およびZ方向に可動し、XY平面で回転できる回転ステージを特徴とする高周波特性検査装置の校正・位置決め技術について述べています。位置決め用パターンの基準点の座標を取得し、取得した座標に基づいて基板のX軸とステージのX軸とのオフセット角を算出します。その後、オフセット角だけ回転ステージを逆回転させることで、非常に精度の高い位置決めを実現します。また、基板上に位置決め用パターンと校正用の基準器を配置し、高周波特性検査装置の校正を行う方法も記述しています。この技術は、高精度な位置決めと校正が必要な各種産業において有用であり、製品の品質向上と生産効率の向上に寄与します。
つまりは、高周波特性検査装置の校正・位置決め技術の革新的な方法
AIによる特許活用案
おすすめ業界 電子工学ロボット工学製造業
- 生産ラインの精度向上
- 自動化システムの精度向上
- 高周波特性検査装置の開発・改善
本技術を製造ラインに導入することで、製品の位置決め精度を向上させることが可能です。これにより、製品の品質を一貫して高く保つことができ、顧客満足度を向上させることができます。
精密な位置決めが必要な自動化システム（ロボットアームなど）の精度を向上させるために本技術を利用できます。これにより、システムの全体的なパフォーマンスと効率を向上させることができます。
高周波特性検査装置の開発や改善に本技術を応用することで、装置の性能を向上させることが可能です。特に、高精度な校正と位置決めが必要な場合には、本技術の応用が有効です。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2017-163566 |
| 発明の名称 | 高周波プローブ位置補正技術 |
| 出願人/権利者 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 | 特開2019-039869 |
| 登録番号 | 特許第0007028430号 |
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- 譲渡
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