東京都公立大学法人
マイクロスケールでの表面処理を可能にする、革新的な放電加工装置
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マイクロスケールでの表面処理を可能にする、革新的な放電加工装置
本発明の放電加工装置は、グローコロナと呼ばれる極微小かつ安定したプラズマを発生させることができます。その中心には、開口部を有する板状電極と、電源に連結されて先端から放電可能な棒状電極が配置されています。さらに、棒状電極の先端の近傍には、加工対象試料を微細に位置決め可能な試料保持部が設けられています。さらに、棒状電極に対向する位置に金属電極が配置され、その表面には誘電体層が設けられています。これにより、微小領域での局所的なプラズマの照射や反応を可能にし、その結果、微小領域の表面処理を実現します。この技術は、各種資料の表面を微細に加工する際に、グローコロナを安定的に発生させ、加工対象試料との相互作用を維持しながら、安定したコロナ放電を行うことが可能です。
つまりは、本発明は、微細な領域に対する表面処理を可能にする放電加工装置及び表面処理方法に関する。
AIによる特許活用案
おすすめ業界 半導体製造業医療器具製造業自動車産業
- マイクロデバイスの製造
- 医療器具の微細加工
- 自動車部品の表面処理
半導体や電子部品の製造において、微細な部分の精密な表面処理が求められる場合があります。本発明の放電加工装置は、そのような微細加工を可能にするため、マイクロデバイスの製造プロセスにおける精密な表面処理に活用できます。
医療器具の製造においても、微細な部分を精密に加工することが必要とされる場合があります。本発明の放電加工装置は、そのような微細加工を可能にするため、医療器具の製造やメンテナンスに活用できます。
自動車部品の製造においても、部品の表面を精密に処理することで、品質向上や性能向上を図ることができます。本発明の放電加工装置を使用することで、部品の微細な部分の表面処理を行い、自動車の性能向上に貢献することが可能です。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2017-168155 |
| 発明の名称 | 放電加工装置及び表面処理方法 |
| 出願人/権利者 | 東京都公立大学法人 |
| 公開番号 | 特開2019-042668 |
| 登録番号 | 特許第0007008317号 |
- サブスク
- 譲渡
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