国立研究開発法人宇宙航空研究開発機構
効率的なプラズマ生成を実現するマイクロ波プラズマ源
国立研究開発法人宇宙航空研究開発機構
効率的なプラズマ生成を実現するマイクロ波プラズマ源
本特許は、磁気回路部を持つ筒状の磁石部と、放電ガスを供給するガスポート部、及びマイクロ波電力を供給可能なアンテナを具備したマイクロ波プラズマ源を提供します。この装置は、磁石部の内径とマイクロ波電力のマイクロ波遮断波長の間に特定の関係があることで、高いプラズマ密度を実現します。アンテナは、第1の磁気回路部からノズル部に向かう方向に延在する第1アンテナ部と、円盤状またはコーン状に構成された第2アンテナ部を有します。第1アンテナ部は、第2アンテナ部の中心部に連結しています。これにより、効率的なマイクロ波プラズマ生成が可能となります。
つまりは、本特許は、マイクロ波電力と放電ガスを利用したプラズマ生成装置で、高いプラズマ密度を実現します。
AIによる特許活用案
おすすめ業界 半導体製造業宇宙開発プラズマ研究
- 半導体製造プロセスの高度化
- プラズマ研究の進展
- 宇宙開発への応用
このマイクロ波プラズマ源は、半導体製造プロセスにおける高密度プラズマの生成に利用することで、より精密で効率的な製造が可能となります。半導体の性能向上や製造コストの削減に寄与します。
高密度のプラズマを生成できるこの装置は、プラズマの物理的特性や挙動を研究するための実験装置として利用することが可能です。プラズマ科学の進展に貢献し、新たな技術開発の礎を築くことができます。
高密度プラズマは、宇宙船のプロペラントとして利用することができます。このマイクロ波プラズマ源を使用することで、効率的に大量のプラズマを生成し、宇宙船の推進力を得ることが可能となります。これにより、宇宙開発の新たな可能性を開くことができます。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2017-225696 |
| 発明の名称 | マイクロ波プラズマ源 |
| 出願人/権利者 | 国立研究開発法人宇宙航空研究開発機構 |
| 公開番号 | 特開2019-096504 |
| 登録番号 | 特許第0006570144号 |
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