国立研究開発法人物質・材料研究機構
革新的なダイヤモンド構造体の製造技術
国立研究開発法人物質・材料研究機構
革新的なダイヤモンド構造体の製造技術
本特許は、高品質のダイヤモンド構造体を製造する新たな方法を提案しています。具体的には、少なくとも表面の一部に単結晶ダイヤモンド層が形成された基板を準備し、その基板の単結晶ダイヤモンド層の表面にダイヤモンド構造体を形成します。この過程では、イオン注入工程、エピタキシャル層の形成、高品質結晶化熱処理工程、エッチングマスク形成工程などが含まれます。さらに、このプロセスは、ダイヤモンド層の欠陥を低減し、製品の品質を向上させます。この新しい製造方法は、ナノおよびマイクロ電子機械システムデバイス等における単結晶ダイヤモンド構造体の使用を可能にします。
つまりは、最先端のダイヤモンド構造体を製造する新たな手法を提供します。
AIによる特許活用案
おすすめ業界 半導体産業電子機器製造マイクロ電子機械
- 高精度な電子機器の開発
- 耐久性の向上
- MEMS/NEMSデバイスの性能向上
この製造技術は、高品質な単結晶ダイヤモンド構造体を活用した高精度な電子機器の開発を可能にします。これにより、デバイスの性能を向上させ、より信頼性の高い製品を市場に提供できます。
ダイヤモンドはその硬度と熱伝導率の高さから、耐久性と信頼性が求められる製品に最適です。この特許技術を活用すれば、耐久性の向上した製品を製造することが可能となります。
本特許のダイヤモンド構造体製造方法を用いると、MEMS（マイクロエレクトロメカニカルシステム）やNEMS（ナノエレクトロメカニカルシステム）のようなデバイスにおける性能を大幅に向上させることができます。これにより、より高精度で効率的なデバイスを開発することが可能になります。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2018-022665 |
| 発明の名称 | ダイヤモンド構造体、ダイヤモンド・カンチレバー、およびダイヤモンド構造体の製造方法 |
| 出願人/権利者 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
| 公開番号 | 特開2019-140547 |
| 登録番号 | 特許第0006989091号 |
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
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