国立研究開発法人物質・材料研究機構
空間分解能に優れた結晶格子面方向分布測定法
国立研究開発法人物質・材料研究機構
空間分解能に優れた結晶格子面方向分布測定法
本発明は、単色で平行なX線を使用して結晶構造を有する試料の結晶格子面方向分布を測定する方法です。試料の結晶軸の方向に沿った2以上の方位からX線を照射し、ブラッグ反射光を検出します。この方法では、面内各部のブラッグ反射X線強度を高速に測定し、その結果をもとに結晶格子面方向分布を算出します。これにより、微細な結晶製品の製造や品質評価に必要な詳細な情報を提供できます。
つまりは、高精度な単色X線を用いて結晶格子面方向の分布を高解像度で測定する方法。
AIによる特許活用案
おすすめ業界 半導体製造業材料科学ナノテクノロジー
- 高品質な半導体デバイスの製造
- 結晶性材料の品質評価
- 研究用途への活用
本発明を用いることで半導体デバイス製造時の結晶格子の詳細な情報を得ることが可能となり、これによりデバイスの特性に影響を及ぼす格子歪や欠陥の観察、改善が可能となります。
本発明の方法を用いて結晶性材料の品質評価を行うことで、微細な結晶構造の分布や格子面の曲率など、詳細な情報を得ることが可能となります。これにより、品質の高い製品の製造を支援します。
本発明は、結晶構造の詳細な調査を必要とする研究分野において有用です。具体的には、材料科学や物理学、化学などの分野で、結晶の微細な構造や性質を解析するための強力なツールとなります。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2018-083268 |
| 発明の名称 | 結晶格子面分布測定方法 |
| 出願人/権利者 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
| 公開番号 | 特開2019-190965 |
| 登録番号 | 特許第0007134427号 |
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
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