国立研究開発法人物質・材料研究機構
革新的なプラズモン特性を持つ六ホウ化ランタン膜とその製造法
国立研究開発法人物質・材料研究機構
革新的なプラズモン特性を持つ六ホウ化ランタン膜とその製造法
本特許は、プラズモン特性を持つ六ホウ化ランタン膜及びその製造方法に関するものです。プラズモン特性を有する六ホウ化ランタン膜は、高い温度耐性と連続性を持ち、さらに光学特性と平坦性も優れています。製造方法は、基板上に膜を成膜する電子ビーム法を使用し、特定の条件下で成膜を行います。具体的には、基板温度410℃で、成膜中に1.0~5Pa以下の圧力下で、2.5A/秒~8.5A/秒の堆積速度で膜を形成します。これにより、プラズモン材料としての性能を高めつつ、製造プロセスを効率化し、製品の品質を向上させることが可能です。
つまりは、高い温度耐性とプラズモン特性を持つ六ホウ化ランタン膜の製造法を提供します。
AIによる特許活用案
おすすめ業界 半導体産業光学産業研究・開発
- 高温環境での光デバイスの開発
- 光学材料の改良
- 新素材の研究・開発
本特許の技術は、高温環境でも安定した性能を持つ光デバイスの開発に活用できます。具体的には、プラズモン特性と高温耐性を持つ六ホウ化ランタン膜を使用して、高温での使用に適した光センサーや光スイッチなどのデバイスを開発することが可能です。
本特許の技術は、既存の光学材料の性能改善にも活用できます。六ホウ化ランタン膜のプラズモン特性を利用して、光学材料の光散乱特性や吸収特性を調整し、その性能を向上させることができます。
本特許の技術は、新たなプラズモン材料の研究・開発にも活用できます。特に、六ホウ化ランタン膜の高温耐性とプラズモン特性は、新たな光学材料や電子材料の開発において、大きな可能性を持っています。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2019-043931 |
| 発明の名称 | 六ホウ化ランタン膜及びその製造方法 |
| 出願人/権利者 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
| 公開番号 | 特開2020-148821 |
| 登録番号 | 特許第0007347778号 |
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
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