電子部品
連続ナノワイヤ形成を可能にする閉塞防止マイクロノズル装置
東京都公立大学法人
東京都八王子市南大沢１－１
この技術でできること
本発明は、吸引ノズルの閉塞を防止し、長時間連続してナノワイヤを形成することが可能なマイクロノズル装置に関するものです。ナノワイヤは、電子デバイスやセンサーなど多くの先端技術に応用される重要な材料ですが、その生成過程でのノズル閉塞は大きな課題となっています。本発明は、この課題を解決し、効率的なナノワイヤ生成を可能にするものです。
主な構成要素と機能
- 吐出用毛細管：
- 3本以上の吐出用毛細管を備え、そのうちの少なくとも1つは金属化合物を含む金属溶液を吐出します。
- 他の吐出用毛細管は、金属化合物と反応して金属を析出させる反応液を吐出します。
- さらに、別の吐出用毛細管は、吸引用毛細管に吸引された金属溶液や反応液の残液による固形分の生成を阻害するか、または固形分を溶解する閉塞抑制液を吐出します。
- 吸引用毛細管：
- 1本以上の吸引用毛細管を備え、金属溶液や反応液の残液を吸引します。
動作原理
このマイクロノズル装置は、基板上に金属からなるナノワイヤを形成する過程で、各毛細管から適切な溶液を吐出します。金属化合物を含む金属溶液が吐出され、続いて反応液が吐出されることで金属が析出し、ナノワイヤが形成されます。閉塞抑制液を吐出することで、吸引用毛細管に吸引された残液によるノズルの閉塞を防止し、安定した連続稼働を可能にします。
利点
- 連続稼働：ノズルの閉塞を防ぐことで、長時間の連続稼働が可能です。
- 高効率なナノワイヤ形成：効率的な溶液管理により、安定したナノワイヤ生成を実現します。
- 多用途な応用：電子デバイスやセンサーの製造など、さまざまな先端技術に応用可能です。
吸引ノズルの閉塞を防ぎ、長時間にわたるナノワイヤ形成を実現するマイクロノズル装置。3本以上の吐出用毛細管と1本以上の吸引用毛細管を組み合わせ、安定したナノワイヤ生成プロセスを提供します。
相談したいこと
技術の特徴
AIによる特許活用案
電子デバイスのナノワイヤ形成
電子デバイスの製造プロセスにおいて、安定したナノワイヤ形成を実現し、デバイスの性能向上に貢献します。
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参考情報
活用条件
- サブスクリプション・未選択
- 権利譲渡・未選択
- ライセンス契約・未選択
- 商品化・サービス化
- ASK
- 実証実験
- ASK
- サンプル・プロトタイプ
- ASK
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権利概要
- 出願番号
- 特願2021-137979
- 発明の名称
- マイクロノズル装置
- 出願人／権利者
- 東京都公立大学法人
- 住所
- 東京都八王子市南大沢１－１
- 公開番号
- 特開2023-032
- 特許取得国
- JP