吸引ノズルの閉塞を防ぎ、長時間にわたるナノワイヤ形成を実現するマイクロノズル装置。3本以上の吐出用毛細管と1本以上の吸引用毛細管を組み合わせ、安定したナノワイヤ生成プロセスを提供します。

本発明は、吸引ノズルの閉塞を防止し、長時間連続してナノワイヤを形成することが可能なマイクロノズル装置に関するものです。ナノワイヤは、電子デバイスやセンサーなど多くの先端技術に応用される重要な材料ですが、その生成過程でのノズル閉塞は大きな課題となっています。本発明は、この課題を解決し、効率的なナノワイヤ生成を可能にするものです。

主な構成要素と機能

1. 吐出用毛細管：
   • 3本以上の吐出用毛細管を備え、そのうちの少なくとも1つは金属化合物を含む金属溶液を吐出します。
   • 他の吐出用毛細管は、金属化合物と反応して金属を析出させる反応液を吐出します。
   • さらに、別の吐出用毛細管は、吸引用毛細管に吸引された金属溶液や反応液の残液による固形分の生成を阻害するか、または固形分を溶解する閉塞抑制液を吐出します。
2. 吸引用毛細管：
   • 1本以上の吸引用毛細管を備え、金属溶液や反応液の残液を吸引します。

動作原理

このマイクロノズル装置は、基板上に金属からなるナノワイヤを形成する過程で、各毛細管から適切な溶液を吐出します。金属化合物を含む金属溶液が吐出され、続いて反応液が吐出されることで金属が析出し、ナノワイヤが形成されます。閉塞抑制液を吐出することで、吸引用毛細管に吸引された残液によるノズルの閉塞を防止し、安定した連続稼働を可能にします。

利点

• 連続稼働：ノズルの閉塞を防ぐことで、長時間の連続稼働が可能です。
• 高効率なナノワイヤ形成：効率的な溶液管理により、安定したナノワイヤ生成を実現します。
• 多用途な応用：電子デバイスやセンサーの製造など、さまざまな先端技術に応用可能です。