日本放送協会
革新的なスパッタ粒子防止技術を備えたイオンビームスパッタ装置
日本放送協会
革新的なスパッタ粒子防止技術を備えたイオンビームスパッタ装置
本特許は、スパッタ粒子の防着を可能とする新たなイオンビームスパッタ装置に関するものである。具体的には、板状部材を内部に有し、その板状部材が特定の位置に形成されることでスパッタ粒子の防着を実現している。また、装置は複数のスパッタターゲットを保持するターゲットホルダと、選択したスパッタターゲットにイオンビームを照射するイオン源、そしてスパッタ粒子防着板の移動機構を制御する制御部を備えている。制御部は、特定の操作順序を通じて装置の機能を最適化する。これにより、精度と効率性を向上させ、製造プロセスの改善を実現する。
つまりは、スパッタ粒子の防着を実現する板状部材を内蔵したイオンビームスパッタ装置
AIによる特許活用案
おすすめ業界 半導体製造精密機器製造電子部品製造
- 半導体製造プロセスの改善
- 精密機器の製造プロセスの改善
- 電子部品の製造プロセスの改善
半導体製造業界では、微細な粒子の付着は大きな問題となります。この技術を活用することで、スパッタ粒子の防着を可能とし、製造プロセスの精度と効率性を向上させることができます。
精密機器の製造プロセスでは、微細な部品に対する精度が求められます。この技術を活用することで、スパッタ粒子の防着を可能とし、部品の品質を向上させることができます。
電子部品の製造では、スパッタリング技術が広く利用されています。この技術を導入することで、スパッタ粒子の防着を可能とし、製造プロセスの改善と製品の品質向上を実現することができます。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2019-150161 |
| 発明の名称 | スパッタ粒子防着板及びイオンビームスパッタ装置 |
| 出願人/権利者 | 日本放送協会 |
| 公開番号 | 特開2021-031697 |
| 登録番号 | 特許第0007360845号 |
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
準備中です