国立研究開発法人物質・材料研究機構
高精度かつ効率的な電子銃と電子機器への革新的なアプローチ
国立研究開発法人物質・材料研究機構
高精度かつ効率的な電子銃と電子機器への革新的なアプローチ
本特許では、電子銃と電子機器の新たな設計と機能について説明しています。この電子銃は、第1と第2の球冠状のシェルを備えたステージを特徴とします。また、ナノワイヤエミッタを用いて、電子ビームを端部から発するように設計されています。これにより、電子ビームの照射位置を調整することが可能となり、真空を破ることなく作業を続行することが可能です。さらに、この電子銃は、金属材料、ゴム系材料、および熱可塑性エラストマー材料からなる材料で形成されるベロースズ形状の伸縮部を備えています。本特許で説明される技術は、電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡、走査型透過電子顕微鏡、オージェ電子分光器、電子エネルギーロス分光器、エネルギー分散型電子分光器など、様々な電子機器に適用可能です。
つまりは、真空を破ることなく電子ビームの照射位置を調整できる電子銃と電子機器
AIによる特許活用案
おすすめ業界 半導体製造医療技術研究開発
- 高精度な電子顕微鏡の開発
- エネルギー分散型電子分光器の改良
- 次世代の半導体製造技術の開発
本発明を用いて、電子ビームの照射位置を細かく調整できる電子顕微鏡を開発することで、より高精度な観察が可能となります。
照射位置の精密な調整が可能なことで、エネルギー分散型電子分光器の性能を向上させることができます。これにより、より詳細な物質分析が可能となります。
真空環境下でのビームの精密な制御が可能となることで、半導体の製造プロセスにおける精度と効率性が向上します。これは、次世代の半導体製造技術の開発に寄与します。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 実証実験 サンプル・プロトタイプ
特許評価書
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2019-226978 |
| 発明の名称 | 電子銃および電子機器 |
| 出願人/権利者 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
| 公開番号 | 特開2021-096942 |
| 登録番号 | 特許第0007347796号 |
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