簡易な操作と安価な材料を用いる点はそのままに、スケールアップも容易なシリコン微粒子の表面加工方法が提供される。

フッ化水素酸及び遷移金属イオンを含む溶液にシリコン微粒子を浸漬することで、前記シリコン微粒子の表面に遷移金属粒子を析出させるとともに、当該析出に伴って、前記遷移金属粒子との接触部が酸化された前記シリコン微粒子の表面をフッ化水素酸でエッチングする第一エッチング工程と、
前記第一エッチング工程を経た混合液に酸化剤を添加してこれらを混合しながら反応させる第二エッチング工程と、を備え、
前記第一エッチング工程にて、前記遷移金属イオンが、溶液中濃度として０．７ｍｍｏｌ／Ｌ～４０ｍｍｏｌ／Ｌとなるように添加されることを特徴とする表面孔及び／又は微細突起を備えたシリコン微粒子の製造方法。