簡易で低コストな構成で、感光性材料を含む感光層を形成した露光基材を露光させて、マイクロメートルサイズやサブマイクロメートルサイズの微細な構造物を形成することが可能な露光装置、およびこれを用いた露光方法を提供することが可能になる。

基材の一面に感光性材料を含む感光層を形成した露光基材を露光させる露光装置であって、
前記感光性材料の感光波長を含むコヒーレント光を照射可能な光源と、
前記コヒーレント光の照射領域を制御する光学素子と、
複数の球状の粒子を液体に混合させた光拡散液を有する光拡散部と、を備えたことを特徴とする露光装置。