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“動作モード分離”でスキャン高速化。

日本放送協会

東京都

この技術でできること

本特許は、走査型イオンコンダクタンス顕微鏡(SICM)の走査速度を向上させるための制御技術に関するものである(1頁要約参照)。本発明では、試料とプローブの相対位置を制御するXYZ制御機構を備えつつ、特にZ方向制御において複数の動作モードを分離している点が特徴である。具体的には、プローブを退避させる「退避モード」、表面に近づけて上下移動する「ホッピングモード」、表面形状に沿って追従する「トレースモード」の3種類のアクチュエータを用いる。これにより、状況に応じて最適な動作を切り替えながら測定を行うことができ、従来よりも高速かつ効率的な表面観察が可能となる。図に示されるように、各モードを役割分担することで全体のスキャン性能を向上させる顕微鏡技術である。

“動作モード分離”でスキャン高速化。

技術の特徴

“動作モード分離”でスキャン高速化。
掲載画像・日本放送協会
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参考情報

活用条件

  • サブスクリプション・未選択
  • 権利譲渡・未選択
  • ライセンス契約・未選択
商品化・サービス化
ASK
実証実験
ASK
サンプル・プロトタイプ
ASK

掲載者による選択状態を表示しています。未選択や ASK は、利用不可を意味するものではありません。

権利概要

出願番号
特願2020-212544
発明の名称
“動作モード分離”でスキャン高速化。
出願人/権利者
日本放送協会
住所
東京都
公開番号
特開2022-098894
登録番号
特許第7621110号
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