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国立大学法人金沢大学
走査型イオンコンダクタンス顕微鏡

国立大学法人金沢大学
走査型イオンコンダクタンス顕微鏡

本特許は、走査型イオンコンダクタンス顕微鏡(SICM)の走査速度を向上させるための制御技術に関するものである(1頁要約参照)。本発明では、試料とプローブの相対位置を制御するXYZ制御機構を備えつつ、特にZ方向制御において複数の動作モードを分離している点が特徴である。具体的には、プローブを退避させる「退避モード」、表面に近づけて上下移動する「ホッピングモード」、表面形状に沿って追従する「トレースモード」の3種類のアクチュエータを用いる。これにより、状況に応じて最適な動作を切り替えながら測定を行うことができ、従来よりも高速かつ効率的な表面観察が可能となる。図に示されるように、各モードを役割分担することで全体のスキャン性能を向上させる顕微鏡技術である。

つまりは、“動作モード分離”でスキャン高速化。

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活用条件

  • サブスク
  • 譲渡
  • ライセンス

商品化・サービス化     | ASK 実証実験          | ASK サンプル・プロトタイプ   | ASK

  • 権利概要
出願番号特願2020-137405
発明の名称走査型イオンコンダクタンス顕微鏡
出願人/権利者国立大学法人金沢大学
公開番号特開2022-033486
登録番号特許第7622973号
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