国立研究開発法人物質・材料研究機構
平面型熱電変換素子、および、その製造方法

国立研究開発法人物質・材料研究機構
平面型熱電変換素子、および、その製造方法
本特許は、微細加工プロセスに適した平面型の熱電変換素子およびその製造方法に関する技術である(1頁要約参照)。本発明では、絶縁性基板上に第1および第2の熱電薄膜を配置し、それらを電極で接続した平面構造を採用する。特に第1の熱電薄膜は、マグネシウム系熱電半導体膜とその上に形成されたシリコン窒化膜から構成される。図に示されるように、従来の立体的な構造ではなく平面上に素子を配置することで、半導体プロセスなどの微細加工技術との親和性が高まり、製造の効率化や小型化が可能となる。IoT機器やセンサー電源など、小型エネルギー回収デバイスとしての応用が期待される熱電変換技術である。
つまりは、“平らな構造”で、発電デバイスを作りやすく。
AIによる特許活用案
おすすめ 熱電変換 半導体プロセス 薄膜デバイス
- IoTデバイス電源
微小な温度差から電力を得るセンサー用電源として活用。
- ウェアラブル発電
人体の熱を利用した小型発電デバイスに応用。
- 電子機器の廃熱利用
機器内部の熱を電力に変換するエネルギー回収技術。
活用条件
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
商品化・サービス化 | ASK 実証実験 | ASK サンプル・プロトタイプ | ASK
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2021-103708 |
| 発明の名称 | 平面型熱電変換素子、および、その製造方法 |
| 出願人/権利者 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 |
| 公開番号 | 特開2023-002885 |
| 登録番号 | 特許第7627034号 |
- サブスク
- 譲渡
- ライセンス
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