本特許は、ソルボサーマル法を用いて高い配向性を持つアナターゼ型酸化チタン（TiO₂）膜を製造する方法に関するものです。従来の酸化チタン膜製造では、成膜後の熱処理や特殊な結晶化工程が必要であり、膜の配向性や均一性を制御することが困難でした。本発明では、水、アルコール、ジケトン、酸、チタンアルコキシド、さらにフッ素原子を含むチタン化合物を成分とするチタン含有液を調製。この液中に基板を浸漬し、ソルボサーマル法によって直接アナターゼ型TiO₂膜を形成します。フッ素原子の添加により結晶の配向制御が促進され、膜全体にわたって高配向なアナターゼ結晶構造を得ることが可能となります。これにより、光触媒活性や電気特性が向上し、太陽電池、環境浄化デバイス、センサー、電子素子など多様な分野に応用できる高機能チタン酸化膜を低コストかつ効率的に製造できます。

つまりは、ソルボサーマル法により、アナターゼ型酸化チタン膜を高配向に成長させる製造プロセスを実現。光触媒や電子デバイスに最適な高機能薄膜技術です。