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真空の新次元 超高真空作成装置

国立研究開発法人情報通信研究機構

イオンポンプ、加熱非蒸発型ゲッターポンプ、サブリメーションポンプを積層配置することで最適な排気特性を提供する超高...

特許第6327974号 詳しく見る
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