高精度のインクジェットノズルプレート製造技術

一括転写型インクジェット用ノズルプレート、およびその製造方法

微細なノズル孔を高精度で形成するインクジェットノズルプレート製造技術

本発明は、基板上に立体構造物を形成し、その後に硬化性材料で被覆し、剥離して微細ノズル孔を形成する一括転写型インクジェット用ノズルプレートの製造方法に関するものです。この方法により、0.1μmから100μmのノズル孔を高精度で製造することが可能です。

微細なノズル孔を利用して、電子デバイスの製造における精密なインクジェット技術を実現。

インクジェットプリンタに本技術を導入し、精密かつ高速な印刷技術を提供。

バイオテクノロジー分野での液体サンプル処理において、微細ノズル孔技術を活用し、高精度な処理を実現する。

出願番号	特願2005-024161
出願日	2005/01/31
発明の名称	一括転写型インクジェット用ノズルプレートの製造方法
出願人/権利者	国立研究開発法人産業技術総合研究所
住所	東京
公開番号	特開2006-205679
登録番号	特許第4362629号

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