プローブカード、およびその製造方法。
金属超微粒子を用いた高精度なプローブカード製造技術
特許内容の解説
本発明は、インクジェット法を利用して、基板上に金属超微粒子を含む液体材料を吐出し、バンプを形成するプローブカードの製造方法に関するものです。銀材料で核部分を形成し、金材料で表層部を形成することで、高精度で耐久性のあるプローブカードを提供します。
AIによる特許活用案
おすすめプローブカード インクジェット法 バンプ形成
- 半導体検査装置での応用
- 電子機器製造プロセスへの応用
- 医療機器の微細検査技術への応用
プローブカードを半導体検査装置に導入し、精度の高い接触検査を実現する技術。
電子機器の製造過程において、プローブカードを使用して品質管理を強化する技術。
プローブカード技術を医療機器の微細検査に応用し、精密な検査を実現する技術。
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2005-024117 |
| 出願日 | 2005/01/31 |
| 発明の名称 | プローブカード、およびその製造方法。 |
| 出願人/権利者 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 住所 | 東京 |
| 公開番号 | 特開2006-208324 |
| 登録番号 | 特許第4798557号 |
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