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【国立研究開発法人産業技術総合研究所】高感度のマイクロ素子熱電式ガスセンサ技術

マイクロ素子化された熱電式ガスセンサ

触媒反応による発熱を利用し、ガス検出を高精度に行う熱電式ガスセンサ

特許内容の解説

本発明は、可燃性ガスと触媒材との触媒反応による発熱を、熱電変換効果を用いて電圧信号に変換し、ガスの検出を行うマイクロ熱電式ガスセンサに関するものです。メンブレン技術を使用し、高温部と低温部を同じ基板上に形成することで、効率的なガス検出を実現します。

AIによる特許活用案

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  • 権利概要
出願番号特願2005-024115
出願日2005/01/31
発明の名称マイクロ素子化された熱電式ガスセンサ
出願人/権利者国立研究開発法人産業技術総合研究所
住所東京
公開番号特開2005-300522
登録番号特許第4576582号
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