リソグラフィを施すことが可能な内面露光装置
中空を有する立体構造物の中空の内面に一括してリソグラフィを施すことが可能な内面露光装置を提供できる。
特許内容の解説
中空を有する被露光物の前記中空の内面を露光する内面露光装置であって、
光源と、
前記光源と前記被露光物との間に配置する露光用マスクと、
前記中空内に配置され、前記露光用マスクを透過した前記光源からの光が前記中空の内面へ反射可能な反射面を有する反射ミラーと、
前記反射ミラーを保持する反射ミラー保持部と、
前記被露光物を支持する被露光物ステージと、
を備える、内面露光装置。
- 権利概要
| 出願番号 | 特願2022-019713 |
| 出願日 | 2022/02/10 |
| 発明の名称 | 内面露光装置 |
| 出願人/権利者 | 学校法人東京電機大学 |
| 住所 | |
| 公開番号 | 特開2023-11 |
特許取得国： JP
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