国立大学法人 熊本大学
発明名称:加工方法及び加工装置
高能率な合成石英ガラス加工法とその装置
合成石英ガラスを化学機械研磨により、簡易な構成で高能率に加工。オゾンガスと紫外光を組み合わせた研磨スラリーを使用し、短時間で表面粗さを改善し、高品質な加工を実現します。
特許取得国:
更新日:
価格 | 希望条件 | 登録番号 | 出願日 |
---|---|---|---|
2021/06/18 |
該当件数701件
国立大学法人 熊本大学
発明名称:加工方法及び加工装置
合成石英ガラスを化学機械研磨により、簡易な構成で高能率に加工。オゾンガスと紫外光を組み合わせた研磨スラリーを使用し、短時間で表面粗さを改善し、高品質な加工を実現します。
特許取得国:
更新日:
価格 | 希望条件 | 登録番号 | 出願日 |
---|---|---|---|
2021/06/18 |